PG/PBNヒータ、静電チャック


外観形状・電極形状は多種多様に設計・製作可能です。


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ヒータの特長
高速昇降温特性とすぐれた温度均一性
1500℃まで(条件によっては2000℃まで)の広域加熱安定性
2000℃加熱直後の水中投与でも無傷の耐熱衝撃性
ほとんどの薬品・ガスに不活性



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静電チャックの特長
ヒータと一体化させた製作可能
室温〜1500℃までの広範囲な温度で使用可能
抵抗率調整可能
高い耐熱衝撃性


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