当社製品は半導体製造、電子デバイス製造、超電導研究、金属蒸着、分析機器その他先端技術の特殊用途分野で幅広く使用されています。



主要製品
製品分類 製品名
PBN製品 VGF用ルツボ
MBE用ルツボ
LEC用ルツボ
単結晶成長用ボート
金属蒸着用ハースライナー
金属蒸着用リザーバ類
耐食・耐熱・絶縁用チューブ
耐食・耐熱・絶縁用板材/加工品
ヒータ/静電チェック ウエハ・基板加熱用PBN/PGヒータ
ウエハ・基板保持用静電チャック
ウエハ・基板加熱用PBNコーティングヒータ
PG/PBNコーティング製品 耐食・耐熱用PGコーティング
耐食・耐熱・絶縁用PBNコーティング
メタルカーバイドコーティング製品 耐食・耐熱用メタルカーバイドコーティング



使用分野
使用分野 用途
Si半導体 PVD用ヒータ/静電チャック
CVD用ヒータ/静電チャック
各種加熱工程用ヒータ
各種部材
各種部材へのコーティング
化合物半導体 単結晶成長用ルツボ
CVD用ヒータ/静電チャック
各種部材
各種部材へのコーティング
金属蒸着 蒸着材加熱ヒータ
蒸着材用リザーバ
各種部材へのコーティング
超電導 基板加熱用ヒータ
各種部材
各種部材へのコーティング
強誘電体 基板加熱用ヒータ
各種部材
各種部材へのコーティング
分析機器 STM/SEM用ヒータ
XRD,その他分析機器用部品
測定物加熱用ヒータ
各種部材
各種部材へのコーティング


PBN製品ヒータ/静電チャックPG/PBNコーティング製品メタルカーバイド製品
BNパウダー
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