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図



zu PBN/PG結晶構造
異方性のPBN/PG
PBN及びPGは積層面に平行な方向(a-b)は共有結合を、垂直な方向(c)はファンデルワース結合を持つ六方晶構造です。このため熱伝導率や熱膨張率、機械強度等に(a-b)と(c)間で大きな差があります。ルツボ・ヒータ・静電チャック等各種製品にはこの特性が有効に生かされています。



メタルカーバイド結晶構造
zu メタルカーバイド構造
通常のコーティングとは異なり、CVR(Chemical Vapor Reaction/化学気相反応)によってメタルとカーバイドとで反応層が形成されます。CVD法と比較して機械的強度が高くまた細部へのコーティングも可能です。



代表物性
PBN PG メタルカーバイド
TaC NbC ZnC
比重 2.15 2.20 15.0 7.9 6.7
ヤング率
 GPa
22 20 300-500 350-500 350-400
圧縮強度
 MPa
220(c) 100(c) 2350 820
熱伝導度
 W/m゜K
20-120(a-b)
1.5-3.0(c)
700(a-b)
3.5(c)
22 13 21
熱膨張率
 (×10-6/℃)
2.6(a-b)
36(c)
0.8(a-b)
20(c)
6.3 7.0 6.7
抵抗率
 (Ω・cm)室温
1×1015(c) 1×10-3(c) 3×10-4 3×10-4 5×10-4
絶縁破壊強さ
 (V/mm)室温
2×105(c)
誘電率(ε)
 4GHz 室温
5.2(a-b)
3.4(c)
全不純物(ppm) <100 <100 <100 <100 <100
融点(℃)
 (無酸素雰囲気)
2500(分解) 3650(昇華) 3880 3760 3540
化学的安定性
耐熱衝撃性
切削加工性
酸化雰囲気限度
 (℃)
700 400 700 800 800


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